La nanolitografía es la rama de la nanotecnología que se ocupa del estudio y la aplicación de la fabricación de estructuras a escala nanométrica, es decir, patrones con al menos una dimensión lateral entre 1 y 100 nm.
La nanolitografía es el arte y la ciencia del grabado, la escritura o la impresión a nivel microscópico, donde las dimensiones de los caracteres son del orden de los nanómetros (unidades de 10 -9 metros , o millonésimas de milímetro).
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